heidenhain敞開式光柵尺@德國海德漢一級經(jīng)銷
敞開式光柵尺是專門為機(jī)械和那些特別需要高精度測量值的裝置設(shè)計(jì)的。
典型應(yīng)用包括:
· 半導(dǎo)體行業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
· 印刷電路版裝配機(jī)械
· 超精密機(jī)械
· 高精度機(jī)床
· 計(jì)量機(jī)和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量裝置
· 直接驅(qū)動
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heidenhain敞開式光柵尺@德國海德漢一級經(jīng)銷
敞開式直線光柵尺 結(jié)構(gòu)類型 |
系列 | 主要特點(diǎn) | 精度等級 | 測量長度 | LIP 300 | - 于超高精度測量
- 玻璃陶瓷或玻璃光柵尺
- 干涉掃描,信號周期小
| ± 0.5 µm | 70 至 270 mm | LIP 400 | - 于超高精度測量
- 玻璃陶瓷或玻璃光柵尺
- 干涉掃描,信號周期小
| ± 1 µm | 70 至 420 mm | LIP 500 | - 于超高精度測量
- 玻璃陶瓷或玻璃光柵尺
- 干涉掃描,信號周期小
| ± 3 µm | 70 至 1440 mm | LIF | - 于超高精度測量
- 帶PRECIMET粘膜膠帶
- 干涉掃描,信號周期小
- 限位開關(guān)和回零軌
| ± 3 µm | 70 至 1020 mm | LIDA 200 | - 用于高速運(yùn)動和大長度測量
- 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中或粘貼在安裝面中
| ± 30 µm | 至 10 000 mm | LIDA 400 | - f用于高速運(yùn)動和大長度測量
- 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中或粘貼在安裝面中
- 限位開關(guān)
| ± 5 µm ± 15 µm | 140 至 30 040 mm 240 至 6040 mm | LIDA 500 | | ± 5 µm | 70 至 1020 mm | PP | - 兩維測量
- 兩維共同掃描點(diǎn)
- 干涉掃描,信號周期小
| ± 2 µm | 68 mm x 68 mm | |